| 品名 Article name | ＩＴＯデポ （ITO depositioｎ） |
| 概要 Outline | 主にITOスパッタリングを行うメーカー様の冶具メンテナンス時や真空チャンバー内清掃時に排出されます。 ITOターゲット残材と比較し不純物が含まれる物が多くみられますが、ご評価の高いインジウム原料として重要な資源です。
These are output mainly in jig maintenance and vacuum chamber interior cleaning at companies performing ITO sputtering. They tend to have more impurities than ITO target scrap, but they are still important resources for high-valued indium materials. |
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